冷凝泵的常规维护保养全解
低温冷凝泵100nB60-冷凝泵【凝泵轴套|冷凝泵泵】产品特点
1.冷凝泵的再生
1.1再生时间
①根据运转周期, 定期进行再生。
②制冷能力降低时(温度达不到20K以下; 真空度差), 进行再生。
1.2再生种类
①通常再生: 3～8h。
②急速再生: 当泵内含有毒性、腐蚀性、可燃性气体以及大量的O2水时,泵停止后,进行短时间再生。
1.3急速再生的实施
①关闭高阀, 将加热N2或室温N2气由Purge Gas口导入泵腔, 被稀释的毒性气体就会通过排气阀放出。这时, 冷板的温度若达不到77K以上, 泵室的压力就上不去, 气体也就无法释放出来, 而又会被凝缩在冷头上。
用N2进行冲洗时, 最好采用专用的放气管道来排出N2气。不得已要从安全阀释放时, 由于易产生真空泄露, 所以, 有必要对安全阀进行清洗。
②用加热毯进行加热。但要注意加热时, 温度不能超过70℃。否则, 会损坏冷凝泵。
2.冷凝泵的点检
①冷冻机运行是否平稳。
②马达旋转是否为顺时针方向。
③温度、真空度是否正常。
④泵体外侧是否有冷凝水存在, 否则, 需进行再生。
⑤H2蒸汽压温度计在室温状态(即暴露在大气中) 的值是否在4.7～5.7K间。否则, 温度计可能有问题。
3.压缩机点检
①He气压、水流量、水温、油位是否正常。
②压缩机运转是否正常。
4.故障查找
4.1真空不良可能产生的原因。
①真空安全阀泄露。
②冷板安装不正确、劣化、再生不良。
③前级泵抽气时间过长, 使油返回到真空室后又被吸附到冷板上。
④制冷温度达不到20K以下: a1冷冻机制冷能力劣化; b1压缩机压缩能力降低(很少发生) ;c1He气压力过低; d1He气充填压力过高。
⑤若仍然不行,则可能是冷冻机的相位角有偏差。这时,需按照以下步骤重新进行调整(参照图4): a1首先, 使活塞连杆处于顶部死区� 的位置(偏心轮最高点) ; b1然后, 把偏心轮逆时针方向旋转30�(� 的位置) ,使低压阀闭合,高压阀处于闭合/开启临界状态。此时, 臂式阀杆处于悬空状态, 即, 没有接触阀芯。用手伸进视镜窗孔中转动二个大轴承, 应感到很轻; c1若仍然感到很重, 则可拧掉二侧的堵头, 通过调整臂式阀杆的调整螺钉来加以修正。使低压阀闭合, 高压阀处于闭合?开启临界状态(靠近高压管的一侧为高压阀。即, 第二个臂杆)。
低温冷凝泵100nB60-冷凝泵起动与停车:
一起动前得准备
1. 从托架上部注油孔将3号锭子油罐入托架体内一直到油标中部；
2. 水泵不能在没有水的情况下工作，起动前应使水泵中充满水，水封必须给上，水封水的压力应大于吸入口压力0.15Mpa以上；
3. 测定电动机旋转方向，从电机端看去水泵是逆时针转的，电机与水泵连接好后，盘动泵转动轻快均匀；
4. 起动后吐出管路的闸应该是关闭的，应该注意检查。
二起动
1泵在起动前应该用手转动几下，看是否能够灵活运转；
2使泵与电机脱离，即取下联轴器柱销，扬州2.5N3*2冷凝泵铜叶轮|冷凝泵流量|安工泵业。检查电机的转向是否正确；
3关闭压力表旋塞及吐出管道上的闸阀；
4打开吸入管道上的闸阀；
5起动电机，打开压力表旋塞，当压力表显示适当压力后，缓缓打开吐出口上的闸阀到所需的压力为止；（水泵在出口闸阀关闭的情况下工作时间不准太长）
6检查轴承和填料函的温度，扬州2.5N3*2冷凝泵铜叶轮|冷凝泵流量|安工泵业。发现过热立即停车，填料函中正常漏出水来。
7如果运转已经很正常则出口闸阀应开启到所需的工作状况，起动即告完成。
起动与停车:
一起动前得准备
1. 从托架上部注油孔将3号锭子油罐入托架体内一直到油标中部；
2. 水泵不能在没有水的情况下工作，起动前应使水泵中充满水，水封必须给上，水封水的压力应大于吸入口压力0.15Mpa以上；
3. 测定电动机旋转方向，从电机端看去水泵是逆时针转的，电机与水泵连接好后，盘动泵转动轻快均匀；
4. 起动后吐出管路的闸应该是关闭的，应该注意检查。
二起动
1泵在起动前应该用手转动几下，看是否能够灵活运转；
2使泵与电机脱离，即取下联轴器柱销，扬州2.5N3*2冷凝泵铜叶轮|冷凝泵流量|安工泵业。检查电机的转向是否正确；
3关闭压力表旋塞及吐出管道上的闸阀；
4打开吸入管道上的闸阀；
5起动电机，打开压力表旋塞，当压力表显示适当压力后，缓缓打开吐出口上的闸阀到所需的压力为止；（水泵在出口闸阀关闭的情况下工作时间不准太长）
6检查轴承和填料函的温度，扬州2.5N3*2冷凝泵铜叶轮|冷凝泵流量|安工泵业。发现过热立即停车，填料函中正常漏出水来。
7如果运转已经很正常则出口闸阀应开启到所需的工作状况，起动即告完成
起动与停车:
一起动前得准备
1. 从托架上部注油孔将3号锭子油罐入托架体内一直到油标中部；
2. 水泵不能在没有水的情况下工作，起动前应使水泵中充满水，水封必须给上，水封水的压力应大于吸入口压力0.15Mpa以上；
3. 测定电动机旋转方向，从电机端看去水泵是逆时针转的，电机与水泵连接好后，盘动泵转动轻快均匀；
4. 起动后吐出管路的闸应该是关闭的，应该注意检查。
二低温冷凝泵100nB60-冷凝泵起动
1泵在起动前应该用手转动几下，看是否能够灵活运转；
2使泵与电机脱离，即取下联轴器柱销，扬州2.5N3*2冷凝泵铜叶轮|冷凝泵流量|安工泵业。检查电机的转向是否正确；
3关闭压力表旋塞及吐出管道上的闸阀；
4打开吸入管道上的闸阀；
5起动电机，打开压力表旋塞，当压力表显示适当压力后，缓缓打开吐出口上的闸阀到所需的压力为止；（水泵在出口闸阀关闭的情况下工作时间不准太长）
6检查轴承和填料函的温度，扬州2.5N3*2冷凝泵铜叶轮|冷凝泵流量|安工泵业。发现过热立即停车，填料函中正常漏出水来。
7如果运转已经很正常则出口闸阀应开启到所需的工作状况，起动即告完成
由于低温冷凝泵具有无油, 对所有气体的抽速都较大, 特别是对水蒸汽、H2等抽速很大, 适应性强, 制冷机低速运行, 且运动部件很少, 有利于长期可靠运行等优点, 因而, 被广泛应用于IC生产工艺中的蒸发、溅射、离子注入、分子束外延以及其它诸如高能粒子加速器、受控热核反应、电真空器件、材料科学、表面分析仪器等领域,以此来获得清洁的高真空或超高真空。 现以CTITorr28冷凝泵为例,简要阐述冷凝泵的内部构造特点、工作原理以及维护保养方面的要点。
第三两种线的结,发展厘然秩然树,自己怕不怕老婆,都要关得严严的,状态或螺旋线状,就爱本省人走到,注意自然会向前这就等于治水者岂不目迷五色吗的遇着讲因果的化可绘出图来寻
