干式真空泵常见的故障特征包括转子不平衡，转子不对中、转子弯曲、转子的磨损或腐蚀、转子上异物附着，滚动轴承磨损、表面损伤，包括外环、内环、滚动体、保持架等，轴颈轴承松动，齿轮安装误差、轮齿损伤或磨损，部件松动几点：
①转子不平衡：振动特征频率为1 × R;振动方向为径向;振动超标是常遇到的现象。其中，尺为转子旋转频率。
②转子不对中、转子弯曲、转子的磨损或腐蚀、转子上异物附着：振动特征频率一般为1×R，常出现2×R，有时为3×R和4×R;振动方向为径向和轴向;属于常见故障，相位比较稳定地变化，相位发生突变，然后稳定。
③滚动轴承磨损、表面损伤，包括外环、内环、滚动体、保持架等：振动特征频率同正常轴承的特征频率相同，但是幅值明显高，不宜检测，可以从转速和轴承的几何尺寸求得，同时常发生与轴承共振频率相关的高频(2～60kHz)振动，振动方向为径向和轴向。
④轴颈轴承松动：轴转频R的次谐波，为R/2或R/3，振动方向主要为径向。可能在运行时发生，或在高温时发生。
⑤齿轮安装误差、轮齿损伤或磨损：振动特征频率为1×R;振动方向为径向和轴向;发生在齿轮啮合频率前后的边频带，说明有调制发生，边频间距对应于调制频率，需用窄带分析才能发现。
⑥部件松动：振动特征频率为2×R;对应轴径轴承松动，也是次谐波和中间谐波。
