真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件。 真空泵吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求真空泵具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。
极低的蒸气压是真空泵油的最重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。
合适的粘度和良好的粘温特性。真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。
良好的热氧化安定性。真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。
为达到最佳配置，选择真空泵时，应考虑下述以下几个要素：
确定直系真空泵的工作范围：首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。确定真空泵的极限真空度：在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。压下机盖，面板上抽气(真空)指示灯亮.真空泵开始抽气，机盖即被自动吸住，抽真空旋钮可根据包装要求调节真空度高低，调节时，视刻度由低至高，幅度要小。当抽气达到设定的时间(即所要求的真空度)时，即抽气结束，抽气指示灯熄灭，充气指示灯亮，以示充气开始.充气旋钮可调节充气时间长短(即充气量多少)，方法同上.如不需要充气.将电源开关拨到真空位置，程序自动进人真空包装，充气指示灯熄灭。抽气或充气完毕时，指示灯随之熄灭，热封指示灯亮，即进入封口程序，面板上设有热封时间及温度调节旋钮，以适应不同厚薄材料，调节时间及温度时，旋动幅度要小，防止热封温度突然增高，烧坏热封配件。
