机械泵的极限真空度可以达到10-1 Pa，这取决于以下三个方面的原因。
(1)机械泵的定子空间中两空腔间的密封性。这是因为两个空腔中一个为大气，另一个为极限压强，密封不好将直接影响到极限压强。
(2)排气口附近有一个“死角”空间，在旋片移动时它不可能趋于无限小，因此不能有足够的压力去顶开排气阀门。
(3)泵腔内密封油有一定的蒸汽压。
由于定子密封性不可能达到完全密封，(2)和(3)属于客观因素不易改变，所以机械泵就存在一个极限真空度。通过改进装置的定子的密封性，改装装置尽量减小“死角”空间，对泵腔内的密封油进行处理，减小蒸气压等方法，可以提高机械泵的真空度，但无法最终克服。
