当前大量使用的机械真空泵，即使设计得最好，相向运动的零件间配合精度即使达到百分之几毫米，在它达到极限真空时，也难以阻止气体由高真空端向入口端“突破”返流。油封机械真空泵就是用油来使相向运动的零部件和排气阀零件间均密封起来，从而使泵能达到较高的真空度。这时它们的密封度就是对油而不是对空气来言，高压气体反“突破”的机会就少得多，密封性能也就好得多。
用油来保持运动部件的密封、靠体腔容积变化而抽气的机械真空泵统称油封机械真空泵。从结构上看，定片泵、余摆线泵、旋片泵和滑阀泵均属油封机械真空泵类。它们的工作原理都是使泵体腔工作室容积机械地增大和缩小而抽气。当泵腔内工作室容积变得最小时，与泵的入口管道连通，于是气体就进入，一直到容积最大并重新与入气管分开时为止。当容积减小时，气体被压缩，直到气体的压强大于一个大气压，排气阀被打开，将气体排出。
