真空泵在工作过程中所表现出的工作状态，能够反应该泵的优劣特性。对于真空泵现已规定方法来检验其性能，其主要参数有以下几种：
(1)极限压力。极限压力对于真空来说也叫极限真空度，是在没有负载的条件下获得的最大真空度，是把容器与真空泵相连，进行长时间的抽气，当容器内气体压力值稳定时，此压力即为极限压力。
(2)流量。在真空泵吸气口处，单位时间内流过气体量称为泵的流量，在真空技术中，流量=压力×体积/时间，单位为Pa·m3/s，通常要给出泵的流量与人口压力曲线的关系。
(3)抽气速率。其单位是m3/s或L/s，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比，或者说在泵的吸气口处，单位时间内流过气体的体积称为泵的抽气速率，简称泵的抽速。
(4)真空泵的启动压强。其单位为Pa，它是指泵无损坏启动并有抽气作用时的压强。
(5)泵的前级压强。其单位为Pa，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。
(6)真空泵的最大前级压强，其单位为Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。
(7)真空泵的最大工作压强，其单位为Pa，它是指对应最大抽气量的入口压强，在此压强下，泵能连续工作并保持好的工作状态而不恶化或损坏。
(8)压缩比，它是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。
(9)返流率，其单位是g/cm2.S，它是指泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。
