分子泵油HF无油分子泵机组是由各性能分子泵、无油泵、通断放气阀、前级管路、断水保护器、分子泵电源、控制电源等组装而成的清洁超高真空获得设备。安装方便，操作简单，易于连接，性能可靠。可广泛应用于表面分析、加速器技术、半导体设备，等离子技术、电真空器件的制造及真空技术各领域。
HF无油分子泵机组应用领域
分析仪器;气相分析;电子显微镜;检漏仪等。
HF无油分子泵机组工作应用
显像管领域;光盘制造;镀膜行业;电子束焊接设备;ITO生产线;OLED生产线、幕墙玻璃生产线;离子刻蚀;半导体制造工业;真空炉;真空输送;照明灯生产工业;食品包装;电真空工业等。
HF无油分子泵机组科研领域
高能物理、表面物理、科研仪器、空间研究等真空技术领域。
HF无油分子泵机组主要性能参数
| 型号参数 | HFP100/110 | HFP160/620 | HFP200/1200 | |||
| 高真空法兰 | DN100LF | DN100CF | DN160LF | DN150CF | DN200LF | DN200CF |
| 抽气速率(L/S) | 110 | 450 | 1200 | |||
| 压缩比(N2) | <10 | <10 | <10 | |||
| 压缩比(H2) | 5*10 | 10 | 6*10 | |||
| 极限压强(Pa) | 6*10-5 | 6*10-5 | 6*10-5 | 6*10-5 | 6*10-5 | 6*10-5 |
| 输入电压频率(V/HZ) | 380±20/50±1 | 380±20/50±1 | 380±20/50±1 | |||
| 冷却水压力(Kg.cm) | 0.5-1 | 0.5-1 | 0.5-1 | |||
| 前级泵型号 | HF-8 | HF-15 | HF-30 | |||
