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往复泵，油封机械泵，水环式真空泵都不适于抽含有杂质的气体。灰尘会污染油，固体颗粒会加剧磨损泵腔内表面产生漏气，使极限真空下降，降低泵的有效抽速，防止灰尘颗粒的有效办法是真空泵过滤器。
　　真空泵过滤器采用旋风，油雾，挡板，金属网多种过滤方式集于一体，能有效滤除真空系统中存在的杂质，具有过滤精度高，阻力小，结构紧凑，维护方便等特点。不会因堆积尘粒而频繁清洗过滤器，有效延长真空机组的使用寿命，提高设备的生产能力。