1、抽气系统，由各类真空泵，真空管道，真空阀组成，真空泵有滑阀泵或旋片泵、罗茨泵、维持泵、扩散泵、分子泵等等等等。
2、真空箱体，根据生产需要设计。
3、传动系统，有流水镀、卷绕镀、旋转镀，也得根据需要设计。
4、镀膜系统，各单位自己组合。