单晶炉滑阀真空泵的简介-技术中心-机械知识
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解决时间 2014-09-09 14:45
- 已解决匿名
- 2014-09-09 14:45
最佳答案
- 匿名
- 2014-09-09 14:45
目前国内单晶炉、多晶炉配用真空泵以滑阀真空泵2H120、滑阀真空泵2H150、滑阀真空泵2H70居多。其中清理单晶炉仍然使用水环真空泵2SK-6B型号。多晶硅炉配套真空泵可根据用户情况定制各类真空机组。 单晶炉滑阀真空泵2H70主要性能参数： 极限真空：6X10-2 抽气速率：70L/S 配用功率：7.5KW 进气口径80mm 排气口径76mm 水环真空泵2SK-6B主要性能参数： 极限真空：3300Pa 抽气速率：6m3/min 进排气口径：50mm 配用功率：11KW