上海曙光高真空扩散泵是由三只真空泵串联组合而成。第一级是以扩散油在一个密闭的容器内加热通过蒸发塔产生高速气流，气流的循环引成抽真空，这是射流原理。第二级是一只罗茨泵把蒸发塔中的空气抽出加大扩散泵真空度。第三级是旋片式真空泵，只有这样三级合力抽真空才能达到效果。
扩散泵多用于灯具真空镀铝等用途要就真空度高，如过真空度达不到（10－3～5X10-7)镀出来的产品会发黑或有花纹。