NOVA ROTORS srl螺旋泵
图：http://www.51clean.com/co_cp_view.asp?id=1042

螺旋离心泵螺旋离心泵
图：http://www.kdhb.com/pro/show.asp?id=91&zt_up=泵类产品

图6 螺杆泵的抽气原理

② 矩形螺旋式真空泵

如图7 所示, 有矩形断面的右螺旋和左螺旋的一对转子相啮合, 由同步齿轮带动实现非接触式的高速运转, 气体由上侧进入, 在泵腔内压缩由

图7 矩型螺旋式真空泵

转子下端排除,转子旋转一周排气一次。转子和泵体内表面形成一种螺旋密封结构, 矩形断面间隙泄漏较少,故可得到较高的压缩比, 泵的压缩比和抽速与转子的螺旋导角,转子与泵体的间隙,螺旋的啮合率,螺旋圈数,转子直径和旋转速度等因素有关。由于它的螺旋圈数多, 比上述的螺杆式干泵的压缩比高, 而抽速低, 这种泵可从大气压抽到极限压力10-1Pa,抽速为40～80m3/h的泵有市售。
图：http://www.chvacuum.com/pumps/jixie/03779.html

没必要工作原理图了吧，很简单的，就是随着螺杆（当然比丝扣宽多了，你可以想像成一个和螺杆一样直径的U型槽，当螺杆旋转时其中的水会怎样运动）的旋转，推动水向前走，后面的压力降低，形成真空状态，把下面的水吸上来。
如果还不明白你再相像一个U型槽中的水在一个和其截面相同的刮板的推动下U型槽中的水会向前推进，而刮板一个接一个的向前走，你再把U型槽换成圆型密封的中间再加上螺杆旋转，就成了螺旋泵了。