抽气总量是1300，不好意思

用水环真空泵就解决了。多大的抽气量都能解决。www.liqizk.com

选用二台普旭RA0630真空泵加一个2个立方的储气罐再加一个电路控制系统即可解决问题。
RA0630真空泵抽速为630m3/h，真空度为0.5mbar。

估计你们是晶元厂吧，如果是晶元厂建议用干泵~
如果普通应用的，油泵也可以~
普旭RA应该是油泵，方案可以借鉴的~

真空吸笔系统我做过一个，也设计过全套系统，用的是爱迪生的吸笔。
据我所知，一般真空吸笔是用来吸取元器件的，但是真空度不需要这么高，用气环真空泵就可以。
如果按照你的真空度要求，采用水环泵、旋片泵或是滑阀泵等都能符合要求。
此外，我设计的那套系统是采用水环泵，一套系统三台（两开一备），每台气量也是400m3/h
泵的选择取决于你的吸笔终端数量。选型由最少同时使用吸笔数量决定。
缺少两个条件进行选型：1、吸笔数量2、最少使用吸笔数量。