有油真空泵是通过油来密封，润滑，降温，这个类型的真空泵可以接受一点水分，而无油真空泵由于叶片材质多是石墨制作的，如果遇到水分，就容易膨胀，损坏，但是无油真空泵用起来比较干净，在一些环境要求比较高的地方可以使用

无油真空泵又称干式真空泵是泵的工作腔内没有任何介质可以原汁原味的回收气体。而有油真空泵像旋片泵是靠介质油来工作，同样的水环泵是靠水来工作（那么水就受到污染）。