多级爪型真空泵的工作原理是什么？

多级爪型真空泵如图3所示,它采用了形状复杂的爪型转子。这种泵也类似罗茨泵型式,两个转子与泵体之间形成泵腔的抽气容积,吸气口和排气口是固定在上下端盖的侧面上,由转子旋转过程中自动开关。图3爪型泵的工作原理沿轴向逆流少,如图4所示。因此在高压区它的压缩比,比罗茨泵的压缩比高,如图5所示。图4爪型真空泵图5罗茨泵和爪型泵的压缩比的比较由于这种泵的吸气口和排气口安置在泵腔的侧壁上,多级连接起来很方便,气道流畅,泵内腔压力变化平缓,有利于防止可凝性气体的凝结。为了防止可凝性气体在泵内的凝结,也要向泵腔内通净化气体。这种爪型泵极限压力为1~10pa,抽速为100~180m3/h,有2~4级串联的系列产品出售。