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  • 匿名
收藏 | 举报 2014-09-09 15:04   关注:230   回答:1

请问透平真空机的原理?是不是属于分子泵的一种?能不能介绍一下其性能特征?

已解决 悬赏分:80 - 解决时间 2014-09-09 15:04
  • 匿名
  支持(12)  |   反对(6)  |   举报 2014-09-09 15:04

原理有类似之处,都是拿高速旋转的叶片排除气体分子已达到真空。透平真空机可以看成是有多种真空泵组成的泵组。抽速比较大,但真空度比较低:抽气速率(150~20000L/S)和真空度(0.099MPa)。而分子泵的真空度可以到达10-6Pa,抽速可以10L/S~3500L/S。但分钟泵必须配合前几泵使用

我们成都无极真空科技有限公司的分子泵可以达到10-8Pa,抽速可以达到4000L/S,分子泵配合前级泵使用。

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