NICT开发小型离子泵-机械知识

导读：小型真空设备。　　除了离子泵，NICT此次还开发出了能够将边长10mm的样品放在边长20mm的样品容器中携带的真空设备。真空设备由离子泵、电源、样品容器、连接大型真空腔的闸阀组成。　　离子泵放在填满缓冲材料的行李箱里时，总重量为6kg左右。此次的小型离子泵在“nanotech2007国际纳米技术综合展技术会议”上进行了展示。NICT表示将争取对外销售此次开发的离子...　　日本信息通信研究机构（NICT）纳米科技部门神户尖端ICT研究中心开发出了体积和重量仅为传统产品1/10左右的离子泵。　　离子泵的尺寸为直径100mm×长200mm，重1.3kg。设想用于电子显微镜，以及可搬运10-8～10-9Torr（10-6～10-7Pa）高真空环境的小型真空设备。　　除了离子泵，NICT此次还开发出了能够将边长10mm的样品放在边长20mm的样品容器中携带的真空设备。真空设备由离子泵、电源、样品容器、连接大型真空腔的闸阀组成。　　离子泵放在填满缓冲材料的行李箱里时，总重量为6kg左右。此次的小型离子泵在“nanotech2007国际纳米技术综合展技术会议”上进行了展示。NICT表示将争取对外销售此次开发的离子泵和真空设备。利用4节5号干电池工作　　为了满足携带的需要，此次的真空泵在小型化的同时还降低了耗电量。使用4节5号干电池可连续工作20小时。以往，在搬运时离子泵通常使用汽车用铅蓄电池进行驱动。由于总重量太大，只能用拖车搬运。所以必须使用能够吸收冲击的阻尼器等设备，搬运起来非常困难。　　该离子泵采用的材料轻于真空泵常用的不锈钢，并且改进了电极结构，因此成功实现了小型化和节能化。通常的离子泵采用2片负极夹着圆筒形正极的结构。而此次的离子泵“通过把电极结构从以往的二维改为三维，使小型化和低电压、低电流驱动成为了可能”