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爱德华罗茨泵维修,爱德华EH500罗茨泵维修,爱德华增压泵维修

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品牌: 爱德华
产品型号: EH500
产品规格: EH500。我们还为您精选了真空泵公司黄页、行业资讯、价格行情、展会信息等
单价: 7888.00元/台
起订: 1 台
供货总量:
发货期限: 自买家付款之日起 天内发货
所在地: 广东 东莞市
有效期至: 长期有效
最后更新: 2014-08-05 09:40
浏览次数: 791
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公司基本资料信息
 
 
产品详细说明
品牌:爱德华 型号:EH500 材质:铸铝
驱动方式:电动 用途:半导体 原理真空泵
功率:3.0 极限压力:0.1pa(pa) 外形尺寸:1
规格:EH500

爱德华真空泵/EDWARDS真空泵/爱德华罗茨真空泵

EH机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是最受欢迎的泵,可用于压力范围为0.01至10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。

机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。

应用

·半导体制程

·真空蒸馏

·真空包装

·钢脱气

·薄膜覆层

·真空冶金

·低密度风洞

·空间模拟

·真空浸渍

·油干燥和脱气

·制药冷冻干燥

·CO2激光

功能和优势

·适用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr的压力范围下、需要超过3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的应用场合。

·它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

·EH泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:

·o安静的无振动运行。

·o牢靠且防腐蚀。

·o先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染

·防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

·经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到最低。

·轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

·动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。

技术数据

 型号

EH250

EH500

EH1200

EH2600

EH4200

排量(工作容积)

310 m3h-1/ 185 ft3min-1

505 m3h-1/ 300 ft3min-1

1195 m3h-1/ 715 ft3min-1

2590 m3h-1/ 1525 ft3min-1

4140 m3h-1/ 2440 ft3min-1

使用前级泵时的有效抽速

240 m3h-1/ 141 ft3min-1

350 m3h-1/ 206 ft3min-1

840 m3h-1/ 495 ft3min-1

1750 m3h-1/ 1031 ft3min-1

3100 m3h-1/ 1825 ft3min-1

泵的压力差

0-180 mbar/0-140 Torr

0-110 mbar/0-83 Torr

0-90 mbar/0-68 Torr

0-80 mbar/0-60 Torr

0-60 mbar / 0-45 Torr

进气口连接

ISO63

ISO100

ISO160

ISO160

ISO250

出口连接

ISO40

ISO63

ISO100

ISO100

ISO100

转速

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

连续进气口工作压力

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

最大出口压力

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

推荐的前级泵

GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80

GV80,E2M80

GV160、GV250、
E2M80、E2M175

GV250、GV400、
E2M175、E2M275

GV400、E2M275

电机功率

碳氢化合物

2.2 kW / 3 hp

2.2 kW/3 hp

3 kW/4 hp

11 kW/15 hp

11 kW/15 hp

PFPE

1.5 kW / 2 hp

1.5 kW/2 hp

3 kW/4 hp

7.5 kW/10 hp

11 kW/15 hp

ATEX

2.2 kW

2.2 kW

3 kW

11 kW

11 kW

防爆

3 hp

3 hp

4 hp

15 hp

15 hp

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